氩气

纯氩、高纯氩气（GB/T4842-2006）、超纯氩气（GB/T16945-2009）
项目名称	指标
	超纯氩	高纯氩	纯氩
氩气（Ar)的体积分数/10-2              ≥	99.9999	99.999	99.99
氢气（H2)的体积分数/10-6              ≤	0.1	0.5	5
氧（O2）的体积分数/10-6               ≤	0.2	1.5	10
氮（N2)的体积分数/10-6                ≤	0.5	4	50
甲烷（CH4)的体积分数/10-6                ≤	—	—	5
一氧化碳（CO)的体积分数/10-6          ≤	0.1	—	5
二氧化碳（CO2)的体积分数/10-6           ≤	0.1	—	10
总烃（以甲烷计）含量/10-6            ≤	0.1	1	—
水分/10-6                            ≤	0.2	3	15
注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V)。